李兴没有说大话,第二天他就拿着一份方案找到了郑南。
“郑厂长,我认为现在无法推进更高制程的主要原因,除了一个是光刻技巧外,还有更重要一点就是无法制作相应的光掩模。”
接触式光刻的原理就是用光这把刻刀透过光掩模这块遮光板,把想要的芯片图案1:1等比例投射在下面的硅片上。
也就是说下面芯片能做出多精细的制程,首先得取决于你能做出多少的光掩模,你不可能拿一张一毫米的光掩模做出10微米的芯片来,相反你要是能拿出......